Навчально-тематичний план з курсу
«Моделювання технології напівпровідникових матеріалів»

Рекомендована література

Періодична система елементів Д.І.Менделєєва

Конспект лекцій (.pdf, 1.6M)

Лабораторний практикум (.pdf, 0.6M)
     Додатки - моделюючі програми:
          до Лабораторної роботи №3: rs2.zip (DOS)
               або PhaseDiagram.exe (Win) © Андрій Ляшук, 2018
          до Лабораторної роботи №4: zone.zip (DOS)
               або ZonePuri.exe (Win) © Олексій Голуб, 2016

 

№ Теми Найменування розділів, тем Кількість годин

Розділ 1. Елементи термодинаміки однокомпонентних систем.
Закриті термодинамічні системи

6
§1.1. Основні типи термодинамічних систем  
§1.2. Атомна одиниця маси. Моль  
§1.3. Температура. Ізотермічні процеси  
§1.4. Ентропія. Адіабатичні процеси  
§1.5. Збереження енергії в теплових процесах. Перше начало термодинаміки  
§1.6. PV- та TS-діаграми  
§1.7. Адитивні та інтенсивні величини  
§1.8. Принцип Больцмана. Друге начало термодинаміки  
§1.9. Необоротні процеси  
§1.10. Ентальпія  
§1.11. Рівняння стану  
§1.12. Теплоємність. Розрахунок зміни внутрішньої енергії та ентальпії при зміні температури  
§1.13. Теплоємність конденсованих речовин. Закони Дюлонга-Пті та Джоуля-Коппа  
§1.14. Розрахунок зміни ентропії при зміні температури  
§1.15. Вільна енергія Гельмгольца та вільна енергія Гіббса  
§1.16. Розрахунок зміни вільної енергії при зміні температури  
§1.17. Екстремальні властивості вільної енергії  
§1.18. Природні змінні термодинамічних потенціалів  
§1.19. Зауваження з приводу позначень  

Розділ 2. Відкриті однокомпонентні системи.
Фазові переходи 1-го роду в однокомпонентних системах

4
§2.1. Компоненти системи. Поняття хімічного потенціалу  
§2.2. Хімічний потенціал в однокомпонентній системі  
§2.3. Фази і фазові переходи 1-го роду  
§2.4. Лінії сублімації, плавлння, випаровування. Потрійна точка.  
§2.5. Теплота фазового перетворення. Зміна ентропії при фазовому переході 1-го роду  
§2.6 Умова рівноваги фаз в однокомпонентній системі  
§2.7 Рівняння Клапейрона-Клаузіуса  
§2.8 Рівновага твердої та рідкої фаз. Лінія плавлення.
Приклад: зміна температури плавлення під дією тиску для деяких речовин
 
§2.9 Рівновага парової та конденсованої фаз. Лінії сублімації та випаровування  
§2.10 Приклад: тиск насиченої пари над розплавом Fe  
         Лабораторна робота №1.
       
Моделювання фазової рівноваги конденсований стан – пара для простих речовин

4


Розділ 3. Елементи термодинаміки багатокомпонентних систем. Розчини

6
§3.1. Мольні долі компонентів розчину. Діаграма склад-властивість для бінарного розчину  
§3.2. Ідеальні розчини  
§3.3. Об’єм і ентальпія змішування  
§3.4. Ентропія змішування в ідеальному розчині  
§3.5. Хімпотенціали в ідеальному розчині  
§3.6. Реальні розчини. Коефіцієнти активності  
§3.7. Модель регулярних розчинів Гільдебранда. Бінарні регулярні розчини  
§3.8. Багатокомпонентні регулярні розчини. Формули Джордана  
§3.9. Моделі простих та квазірегулярних розчинів  
§3.10. Моделі неідеальних розчинів з параметром взаємодії, що залежить від складу розчину  
§3.11. Модель субрегулярних розчинів Марґулеса  
§3.12. Модель неідеальних розчинів Ван-Лаара  

Розділ 4. Фазові рівноваги в бінарних системах,
компоненти якої не утворюють хімічної сполуки

4
§4.1. Системи, де в рідкій фазі компоненти змішуються необмежено,
але у твердій фазі розчину не утворюють. Логарифміка Шредера
 
§4.2. Другий закон Рауля щодо пониження температури кристалізації розчинів. Кріоскопічна константа  
§4.3. Приклад: температура замерзання приполярної криги  
§4.4. Евтектика  
§4.5. Приклад: розрахунок ліквідуса в системі Bi–Cd  
         Лабораторна робота №2.
       
Моделювання фазових діаграм бінарних систем з евтектикою в моделі регулярних розчинів

4

§4.6. Системи, де компоненти змішуються необмежено як у рідкій, так і у твердій фазах.
Рівняння Ван-Лаара
 
§4.7. Розв’язання рівнянь Ван-Лаара для моделі ідеальних розчинів  
§4.8. Приклад: розрахунок ліквідуса і солідуса в системі Ge–Si  
§4.9. Розв’язання рівнянь Ван-Лаара для моделей регулярних та інших неідеальних розчинів  
         Лабораторна робота №3.
       
Моделювання фазових діаграм систем типу А1-zВz в моделі регулярних розчинів

4

§4.10. Типи розв’язків рівнянь Ван-Лаара для моделі регулярних розчинів  
§4.11. Вигляд евтектичної фазової діаграми
при необмеженій розчинності компонентів в рідкій фазі і обмеженій – в твердій
 
§4.12. Перитектика та її відмінності від евтектики  
§4.13. Коефіцієнт розподілу  

Розділ 5. Зонна плавка

4
§5.1. Нормальна кристалізація. Основні модельні припущення  
§5.2. Розрахунок профілю домішки після нормальної кристалізації  
§5.3. Використання нормальної перекристалізації для очистки матеріалів  
§5.4. Використання нормальної перекристалізації
для експериментального визначення коефіцієнту розподілу домішки
 
§5.5. Зонна плавка. Рівняння Лорда-Рейсса  
§5.6. Зонна плавка: перший прохід зони  
§5.7. Метод Геммінґа чисельного розв’язання рівняння Лорда-Рейса  
§5.8. Зонна плавка: наступні проходи зони  
§5.9. Зонна плавка: кінцевий розподіл домішки  
         Лабораторна робота №4.
       
Моделювання зонної очистки

6


Розділ 6. Фазові рівноваги в бінарних системах
з проміжною сполукою в твердій фазі

4
§6.1. Загальні риси фазової рівноваги в системах, де компоненти в рідкій фазі змішуються необмежено, а у твердій фазі утворюють проміжну сполуку  
§6.2. Хімпотенціали компонентів при хімічній реакції  
§6.3. Зміна ентропії при конгруентному плавленні хімічної сполуки  
§6.4. Рівняння Віланда фазової рівноваги за наявності проміжної сполуки  
§6.5. Фазові рівноваги в системах АІІІСV  
§6.6. Приклад: розрахунок ліквідуса в системах In–P та Ga–As в моделі ідеальних розчинів  
§6.7. Розв'язання рівнянь моделі квазірегулярних розчинів  
         Лабораторна робота №5.
       
Моделювання фазових діаграм бінарних систем з проміжною сполукою типу AC

6

§6.8. Асоційовані розчини. Закон діючих мас  
§6.9. Особливості фазових рівноваг в системах АІІС та АС  
§6.10. Розв'язання рівнянь моделі асоційованих розчинів  
§6.11. Модель повністю асоційованих регулярних розчинів. Приклад: розрахунок ліквідуса Pb-Te  

Розділ 7. Фазові рівноваги в багатокомпонентних твердих розчинах
з ізовалентним катіонно-аніонним співвідношенням

4
§7.1. Загальна характеристика напівпровідникових трикомпонентних твердих розчинів А1-zВzС. Залежність фізичних властивостей від їхнього складу  
§7.2. Концентраційний трикутник. Квазібінарний розріз  
§7.3. Загальні риси фазової рівноваги. Поверхня ліквідуса. Ізотерми ліквідуса. Коноди.
Ізоконценетрати солідуса. Поверхня солідуса (область чи «трубка» гомогенності)
 
§7.4. Рівняння фазової діаграми твердого розчину А1-zВzС  
§7.5. Спрощена модель фазових рівноваг (рідка фаза – розбавлений квазірегулярний розчин,
тверда фаза – ідеальний розчин)
 
§7.6. Приклад: розрахунок фазової діаграми Ga–Al–As за спрощеною моделлю  
         Лабораторна робота №6.
       
Моделювання фазових діаграм твердих розчинів типу А1-zВzС

4

§7.7. 4-компонентні системи. Концентраційний тетраедр. Трикутник або квадрат твердої фази  
§7.8. Загальна характеристика напівпровідникових 4-компонентних твердих розчинів  
§7.9. Рівняння фазової діаграми 4-компонентного твердого розчину типу «3×1»  
§7.10. Рівняння фазової діаграми 4-компонентного твердого розчину типу «2×2»  

Розділ 8. Моделювання рідиннофазної епітаксії методом примусового охолодження
в багатокомпонентних системах
4
§8.1. Рідиннофазна епітаксія методом примусового охолодження. Основні модельні припущення  
§8.2. Епітаксальний ріст бінарної сполуки АС  
§8.3. Рівняння епітаксіального росту в багатокомпонентній системі  
§8.4. Епітаксальний ріст бінарної сполуки АС (інший розв’язок ростового рівняння)  
§8.5 Епітаксіальний ріст в трикомпонентній системі А1-zВzС  
§8.6 Застосування спрощеної моделі фазових рівноваг для розрахунку процесу епітаксіального росту
в трикомпонентній системі А1-zВzС
 
§8.7 Приклад: рідиннофазна епітаксія плівок в системі Ga1-zAlzAs  
§8.8. Інверсна крива  
         Лабораторна робота №7.
       
Моделювання рідкофазної епітаксії твердих розчинів типу А1-zВzС

8

Всього годин: 36  +  36