Рекомендована література до курсу
«Моделювання технології напівпровідникових матеріалів»

Основна

  1. Глазов В.М., Павлова Л.М. Химическая термодинамика и фазовые равновесия. М.: "Металлургия", 1988.
         Скачать .pdf (24 МБ)
  2. Эткинс П. Физическая химия. Часть 1. М.: "Мир", 1980.
         Скачать .djvu (11 МБ)
  3. Свелин Р.А. Термодинамика твердого состояния. М.: "Металлургия", 1968.
         Скачать .djvu (3,5 МБ)
  4. Фазовые диаграммы двойных систем.
         http://www.himikatus.ru/art/phase-diagr1/diagrams.php.
  5. Пфанн В. Зонная плавка. М.: "Мир", 1970.
         Скачать .djvu (12 МБ)
  6. Кейси Х., Паниш М. Лазеры на гетероструктурах. Т.2. М.: "Мир", 1981.
         Скачать .djvu (4 МБ)
  7. Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии. Изд. 2-е. М.: МИСИС, 1995.
         Скачать .djvu (7,6 МБ)
  8. Андреев В.М., Долгинов Л.М., Третьяков Д.Н. Жидкофазная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов. М.: Сов. радио, 1975.
         Скачать .pdf (10 МБ)
  9. Случинская И.А. Основы материаловедения и технологии полупроводников. М.: МИФИ, 2002.
         Скачать .pdf (2,9 МБ)
  10. Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков. Изд. 2-е. М.: МИСИС, 2003. ISBN 5-87623-018-7.
         Скачать .pdf (44 МБ)
  11. Уэйлес С. Фазовые равновесия в химической технологии. В 2-х частях. М.: "Мир", 1989.
         Скачать часть 1 .djvu (4.1 МБ)
         Скачать часть 2 .djvu (5.2 МБ)
  12. Терехов С.В. Моделирование тепловых и кинетических свойств реальных систем. Донецк: "Вебер", 2007.
         Скачать .pdf (5,5 МБ)
  13. Сорокин В.С., Антипов Б.Л., Лазарева Н.П. Материалы и элементы электронной техники. Т.1. Проводники, полупроводники, диэлектрики. СПб.: "Лань", 2015. ISBN 978-5-8114-2003-2
         Скачать .pdf (24 МБ)
  14. Кузнецов В.В., Москвин П.П. Межфазные взаимодействия при гетероэпитаксии полупроводниковых твердых растворов. СПб.: "Лань", 2019. ISBN 978-5-8114-3809-9.
         Скачать .pdf (6 МБ)

Додаткова

  1. Паниш М., Илегемс М. Фазовые равновесия в системах III-V. В кн.: Материалы для оптоэлектроники (под ред. Гиваргизова Е.И., Горина С.Н.). М.: "Мир", 1976.
  2. Батура В.П., Вигдорович В.Н.,Селин А.А. "Четырехкомпонентные твердые растворы соединений группы АIIIBV - перспективные материалы оптоэлектроники". Зарубежная электронная техника 1980, №12 (232), с.3-52.
  3. Средин В.Г. "Четырехкомпонентные твердые растворы замещения АIIBVI и АIVBVI". Зарубежная электронная техника 1982, №2 (248), с.3-19.
  4. Ландау Л.Д., Ахиезер А.И., Лифшиц Е.М. Курс общей физики. Механика и молекулярная физика. М.: "Наука", 1969.
  5. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. Часть 1. М.: "Наука", 1976.
  6. Смирнова Н.А. Методы статистической термодинамики в физической химии. М.: "Высшая школа", 1973.
  7. Румер Ю.Б., Рывкин М.Ш. Термодинамика, статистическая физика и кинетика. М.: "Наука", 1977.
  8. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. М.: "Металлургия", 1972.
  9. Романенко В.Н. Управление составом полупроводниковых слоёв. М.: "Металлургия", 1978.
  10. Уфимцев В.Б., Лобанов А.А. Гетерогенные равновесия в технологии полупроводниковых материалов. М.: "Металлургия", 1981.
  11. Уфимцев В.Б., Акчурин Р.Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. М.: "Металлургия", 1983.
  12. Jordan A.S. “Activity Coefficients for a Regular Multicomponent Solution”. J. Electrochem. Soc. 119(1), 123-124 (1972). doi:10.1149/1.2404118.
  13. Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: "Мир", 1974.
  14. Химия и технология редких и рассеянных элементов. Часть II. Под ред. Большакова К.А. М.: "Высшая школа", 1976.
  15. Lord N.W. Trans. AIME 197, J. Metals 5, 1531 (1953).
  16. Reiss H. Trans. AIME 200, J. Metals 6, 1053 (1954).
  17. Vieland L.J. “Phase equilibria of III–V compounds”. Acta Metallurgica 11(2), 137-142 (1963). doi:10.1016/0001-6160(63)90148-2.
  18. Lin J.C., Hsleh K.C., Sharma R.C., Chang Y.A.. “The Pb-Te (lead-tellurium) system”. Bulletin of Alloy Phase Diagrams 10(4), 340-347 (1989). doi:10.1007/bf02877589
  19. Dimmock J. O., Melngailis I., Strauss A. J. “Band Structure and Laser Action in PbxSn1−xTe”. Physical Review Letters 16(26) 1193-1196 (1966). doi:10.1103/physrevlett.16.1193.
  20. Ilegems M., Panish M. B. “Phase equilibria in III–V quaternary systems – application to Al-Ga-P-As”. Journal of Physics and Chemistry of Solids 35(3), 409-420 (1974). doi:10.1016/s0022-3697(74)80034-x.
  21. Jordan A. S., Ilegems M. “Solid-liquid equilibria for quaternary solid solutions involving compound semiconductors in the regular solution approximation”. Journal of Physics and Chemistry of Solids 36(4), 329-342 (1975).
    doi:10.1016/0022-3697(75)90032-3
  22. Домбругов М. Р., Жовнир Г. И. “Расчет фазовых равновесий в системе Pb-Sn-Te-Se”. Изв. АН СССР. Сер. Неорг. материалы 24(2), 336-338 (1988).
  23. Домбругов М.Р. “Моделирование явления инверсии градиента профиля алюминия при жидкофазной эпитаксии гетероструктур GaAl(P,As,Sb)”. Мікросистеми, електроніка та акустика 24(1), 6-14 (2019). doi:10.20535/2523-4455.2019.24.1.160164.
  24. Елютин В. А., Карпов С. Ю., Портной Е. Л., Третьяков Д. Н. “Особенности выращивания волноводных гетероструктур AlxGa1–xAs с плавным изменением состава”. Письма в ЖТФ 4(11), 629-633 (1978).
  25. Барыбин А.А., Томилин В.И., Шаповалов В.И. Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2011. ISBN 978-5-9221-1321-2.
  26. Сафаралиев Г.К. Твердые растворы на основе карбида кремния. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2011.
  27. Гавалешко Н.П., Горлей П.Н., Шендеровский В.А. Узкозонные полупроводники. Получение и физические свойства. К.: Наукова думка, 1984.